Длина волны, нм 193 (ArF) 248 (KrF) 308 (XeCl)
Энергия в импульсе, мДж 250 500 300
Макс средняя мощность, Вт на 100 Гц 20 40 25
Макс частота повторения, Гц
Питание 220 В / 50 Гц
Охлаждение водяное, <3 литр/мин
воздушное (Модель 7010)
Габариты, мм (вес, кг) 1350 x 750 x 400 (170)
Комплектация
керамическая разрядная камера
стабилизация средней мощности
увеличенное время жизни газовой смеси
большой срок службы оптических элементов
управление от компьютера
быстрая замена оптики
лазер выполнен в виде единого блока
откачка газов безмасляным насосом
газовый баллон со смесью для лазера
Состояние
Новое
Дата последнего обновления: 20211002083048 Дата занесения информации в каталог: 2001-09-01 12:00:00
Длина волны, нм 193 (ArF) 248 (KrF) 308 (XeCl)
Энергия в импульсе, мДж 20 40 25
Макс средняя мощность, Вт на 300 Гц 5 10 7.5
Макс частота повторения, Гц
Питание 220В/50Гц, 208В/60Гц
Охлаждение водяное, литр/мин <1
воздушное (Модель 5010)
Габариты, мм (вес, кг) 700 x 400 x 300 (60)
Комплектация
компактный эксимерный лазер
стабилизация средней мощности
увеличенное время жизни газовой смеси
компьютерный контроль
лазер выполнен в виде единого блока
газовый баллон с газовой смесью
Состояние
Новое
Дата последнего обновления: 20211002083048 Дата занесения информации в каталог: 2001-09-01 12:00:00
